Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 34: Poster (II)

O 34.49: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 20:00–22:30, Bereich C

Aufbau eines UHV-Clusters zur Präparation und Analyse von Oberflächen: Erste Experimente zum Wachstum von Wolframtrioxid-Filmen — •Reiner Notz, Markus Hackenberg, Hans Bialas, Berndt Koslowski und Paul Ziemann — Universität Ulm, Abteilung Festkörperphysik, 89069 Ulm

Es wurde eine UHV-Anlage bestehend aus fünf Kammern aufgebaut: Schleuse, Transferkreuz, Präparationskammer, Analysenkammer und einer Kammer zur Rastersondenmikroskopie. Zur Präparation stehen eine planare RF/DC Sputterquelle, ein Tripelverdampfer, ein Elektronenstrahlverdampfer und eine rasterbare 5kV Ionenquelle zur Verfügung. Als Analysemethoden sind Photoelektronenspektroskopie (UPS), Augerelektronenspektroskopie (AES), niederenergetische Elektronenbeugung (LEED), sowie thermische Desorptionsspektroskopie (TDS) und Rastersondenmikroskopie (RSM) vorhanden. Die tieftemperaturkompatieblen, steckbaren und daher frei beweglichen Rastersondenmikroskope wurden zur Schwingungsisolation in einer separaten Kammer untergebracht. Neben der detaillierten Beschreibung der selbstgebauten Rastersondenmikroskope werden erste Ergebnisse zur Präparation und Charakterisierung kristalliner Wolframtrioxidfilme (WO3) auf einkristallinen YSZ-Substraten vorgestellt.