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Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 34: Poster (II)

O 34.84: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 20:00–22:30, Bereich C

Analytische Modelle f"ur die Voraussage der Tiefeninformation in Total Electron-Yield XAS Signalen: ein Vergleich verschiedener Methoden — •Sven L.M. Schroeder — Institut f"r Physikalische Chemie, FU Berlin, Takustr. 3, 14195 Berlin

Eine Entwicklung von mathematisch einfachen, quantitativen Modellen f"ur die Signalbildung in Total Electron-Yield (TEY) R"ontgenabsorptionsspektren ist w"unschenswert, um die Voraussage der Tiefeninformation in TEY-Daten f"r Proben beliebiger Zusammensetzung und Morphologie zu erm"oglichen. Verl"a"sliche quantitative Methoden k"onnten prinzipiell die Charakterisierung von Schichtdicke, chemischer Zusammensetzung und Porosit"at d"unner Filme erlauben. In den letzten Jahren sind bereits verschiedene analytische Modelle vorgeschlagen worden, die zur Absch"atzung der Tiefeninformation in TEY-Signalen herangezogen werden k"onnen. Die relative Genauigkeit dieser Methoden ist nun durch Vergleich mit experimentell ermittelten Daten f"ur die Abschw"achung von TEY-Signalintensit"aten in verschiedenen Materialien untersucht worden. Es wurde gefunden, da"s die Voraussagen der verf"ugbaren Modelle insbesondere f"ur Filme chemischer Verbindungen recht stark voneinander abweichen. Die Verl"a"slichkeit analytischer Modelle wird mit der von k"urzlich beschriebenen Monte-Carlo Simulationsmethoden f"ur die TEY-Signalbildung verglichen werden.

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