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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.11: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Oxiddispersionsverfestigte Dünnschichten — •Dirk Weiss, Peter Müllner und Eduard Arzt — Max-Planck-Institut für Metallforschung, Seestr. 92, 70174 Stuttgart

Dispersionshärtung als Standardstrategie zur Erlangung von Hochtemperaturfestigkeit bei metallischen Werkstoffen kann auch im Dünnschichtbereich interessante Anwendungen finden.

Es wird von der Herstellung solcher Schichten durch Sputtern von Cu-Y und Cu-Al Legierungstargets berichtet. Während einer anschließenden Auslagerung im Hochvakuum werden die Dispersoide durch innere Oxidation gebildet. Die Mikrostruktur wird mittels Transmissionselektronen- und Ionenstrahlmikroskopie charakterisiert. Durch gezielte Einstellung der Auslagerungsparameter ist es möglich, eine Mikrostruktur mit großen Körnern und kleinen, feinverteilten Oxidteilchen auszubilden.

Die mechanischen Eigenschaften werden mit der Substratkrümmungsmethode bestimmt. Die Dispersoide verursachen eine deutliche Steigerung der Fließgrenze bei hohen Temperaturen.