Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme
SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)
SYB 2.13: Poster
Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)
TEM - Charakterisierung der Gefügeentwicklung von CuNi(Mn)-Schichten als Folge einer Wärmebehandlung — •Volker Weihnacht und Winfried Brückner — Institut für Festkörper- und Werkstofforschung Dresden, Postfach 27 00 16 Dresden, 01171 Dresden
Auf oxidierten Si(100)-Wafern abgeschiedene Cu0,57Ni0,42Mn0,01-Schichten (Schichtdicke ca. 400 nm, Oxiddicke 1200 nm) wurden untersucht. Ziel war herauszufinden, ob und in welchem Umfang Gefügeveränderungen (z.B. Rekristallisation) als Folge einer Wärmebehandlung auftreten. Veränderungen dieser Art sind insbesondere im Hinblick auf die Diskussion mechanischer Eigenspannungen und plastischer bzw. Kriech-Eigenschaften der Schichten von großem Interesse. Die Wärmebehandlungen erfolgten im Vakuum durch je einen thermischen Zyklus bis zu verschiedenen Maximaltemperaturen (250 oC - 550 oC). Von jeder der thermisch gezykelten Proben und dem Ausgangszustand wurden sowohl Planar- als auch Querschnittspräparate für eine TEM-Charakterisierung hergestellt. Die TEM-Untersuchungen zeigten im Ausgangszustand eine ausgeprägte Stengelkornmorphologie mit großer Zwillingsdichte. Beobachtet wurde weiterhin eine Rekristallisation des Gefüges. Durch die Rekristallisation erhöhte sich der mittlere Korndurchmesser von rund 30 nm auf etwa 400 nm. Genauere Angaben konnten auch zum Startpunkt der Rekristallisation, zu den Keimbildungsorten und dem Verlauf der Rekristallisationsfronten gewonnen werden.