Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.2: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Elastisches, plastisches und rißbildendes Verhalten dünner metallischer Schichten auf Polyimidfolien in Zugversuchen: Al, AlCu, CuNi(Mn) — •Frank Macionczyk und Winfried Brückner — Institut für Festkörper- und Werkstofforschung Dresden, PF 27 00 16, 01171 Dresden

Aus Zugversuchen an Schicht/Substrat-Verbundsystemen wurden Spannungs-Dehnungs-Kurven dünner Schichten bestimmt. Dafür wurde die Kraftaufnahme des Substrats in separaten Versuchen gemessen und von der Kraftaufnahme des Verbundsystems subtrahiert. Ergebnisse werden am Beispiel von gesputterten Al- und AlCu(0,5-Gew.-%)-Schichten mit Dicken zwischen 200 nm und 2000 nm sowie 1000 nm und 1500 nm dicken Cu(0,57)Ni(0,42)Mn(0,01)-Schichten, jeweils auf elastischen Polyimidfolien, diskutiert. Gefundene Abweichungen der E-Moduli der Schichten gegenüber entsprechenden Massivmaterialwerten sind vornehmlich auf herstellungsbedingte Defekte in den Schichten zurückzuführen. Das plastische Verhalten von Al- und AlCu-Schichten zeigte Abhängigkeiten von Korngröße und Schichtdicke. Die nanokristallinen CuNi(Mn)-Schichten zeigten keine plastische Dehnung. Bei allen Schichten stiegen die Festigkeitswerte mit abnehmender Schichtdicke und Korngröße an. CuNi(Mn)-Schichten brachen spröde, wobei die Rißspannung abhängig von der Schichtdicke und unabhängig von der Ausgangslänge vorhandener Risse war. Duktile Al-Schichten zerfielen durch Mikrorisse.