Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.4: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Innere Spannungen laserdeponierter metallischer Systeme — •M. Störmer¹, F. Harbsmeier², W. Bolse², W. Blum³, S. Senz³, D. Hesse³, S. Fähler¹, M. Weisheit¹ und H.U. Krebs¹ — ¹Institut für Metallphysik — ²II. Physikal. Inst., Universität Göttingen, 37073 Göttingen — ³MPI für Mikrostrukturphysik, 06120 Haale , und SFB 345

Das Wachstum laserdeponierter metallischer Legierungen und Schichtpakete wurde einerseits ex-situ mit Röntgendiffraktometrie, Vierkreisdiffraktometrie und Profilometrie untersucht und andererseits mit den Verfahren RHEED und Widerstandsmessungen in-situ während der Laserdeposition studiert. Sämtliche Schichten weisen typischerweise Druckspannungen im Bereich von 1-2 GPa auf. Ursachen für die hohen Druckspannungen sind in den speziellen Eigenschaften der Schichtherstellung mittels Laserdeposition begründet und werden diskutiert.