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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.5: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Vibrating-Reed-Messungen zur Untersuchung verspannter Schichten auf Silizium — •U. Harms und H. Neuhäuser — Institut für Metallphysik und Nukleare Festkörperphysik, TU Braunschweig, Mendelssohnstrasse 3, D-38106 Braunschweig

Der Elastizitätsmodul von dünnen (100 nm - 2 µm) Schichten läßt sich durch die Messung von Resonanzfrequenzen geeigneter mikromechanisch strukturierter Substrate bestimmen (Vibrating-Reed-Technik). Für verspannte Schichten ist eine simultane Spannungsmessung nötig, um Einflüsse der Schichtspannung auf die Frequenz rechnerisch korrigieren zu können. Durch den Vergleich verschiedener Moden (Torsion und Biegung) kann die hohe Genauigkeit der Frequenzmessung auch zur Spannungsmessung benutzt werden. Besonders Messungen zur Spannungsrelaxation (durch Kriechen der Schicht bzw. des Substrates) profitieren dabei von der kleinen Drift, und können quantitativ ausgewertet werden, wie an Beispielen (Al, cBN) gezeigt wird.