Regensburg 1998 – scientific programme

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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.6: Poster

Thursday, March 26, 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Messung mechanischer Eigenschaften von dünnen Schichten durch Mikrobalkenbiegung — •O. Kraft und R. Schwaiger — Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart

In diesem Beitrag beschreiben wir die Messung der elastischen und plastischen Eigenschaften dünner Schichten auf Mikrobalken aus Siliziumoxid. Diese wurden mittels verschiedener Lithografie- und Ätztechniken hergestellt. Die Balken werden mit Hilfe eines Nanoindenters gebogen, wobei die aufgebrachte Last und die zugehörige Verschiebung gemessen werden. Aus dem linearen Last-Verschiebungs-Verlauf können dann unter Verwendung der Balkenbiegetheorie die elastischen Eigenschaften des Balkenmaterials bestimmt werden. Zur Untersuchung dünner Schichten (z.B. Al, Cu oder Pt) werden diese auf den Balken abgeschieden und anschließend der Schicht/Balken-Verbund getestet. Auch hier wird zunächst ein linearer Zusammenhang zwischen Last und Verschiebung beobachtet, aus dem die elastischen Eigenschaften der Schicht bestimmt werden können. Die plastische Verformung der Schicht ist durch ein Abknicken vom linearen Verlauf gekennzeichnet, woraus die Fließspannung der Schicht abgeschätzt werden kann.