Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.9: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Zugversuche zur Untersuchung der plastischen Verformung dünner Schichten — •M. Hommel, S. Baker, and E. Arzt — Max-Planck-Institut für Metallforschung und Institut für Metallkunde der Universität, Seestra"se 71, 70174 Stuttgart

Die mechanische Pr"ufung d"unner Schichten insbesondere im Zugversuch stellt eine besondere methodische Herausforderung dar. Zum einen k"onnen freistehende Schichten und zum anderen der gesamte Schicht/Substrat-Verbund verformt werden. Bei der ersten Methode tritt die Schwierigkeit auf, da"s die Schicht sehr leicht besch"adigt werden kann. Bei letzterer mu"s das eigentliche Verformungsverhalten der Schicht von dem des Substrats separiert werden. Hierzu haben wir eine Mikrozugapparatur entwickelt, die in ein R"ontgendiffraktometer montiert werden kann. Im Zugversuch werden Schicht und Substrat gemeinsam verformt und die elastischen Dehnungen im Kristallgitter der Schicht r"ontgenografisch gemessen. Daraus lassen sich dann unter Verwendung der elastischen Konstanten und unter Ber"ucksichtigung der vorliegenden Textur die Spannungen bestimmen. Am Beispiel von Cu-Schichten auf plastischen (Ni) oder nachgiebigen Substraten (Polyimid) wird die Anwendbarkeit der Methode demonstriert. Dabei wurde gefunden, da"s die Flie"sspannung der Schicht mit abnehmender Dicke ansteigt.