Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 15: Postersitzung II: Massive HTSL (1-12), Supraleitung: Anwendungen (13-34), Josephsonkontakte und Kryoelektronik (35-75), Elektronenstruktur und Phononen in HTSL (76-79), Schwere Fermionen, Kondo-Systeme (80-99)
TT 15.23: Poster
Mittwoch, 25. März 1998, 15:00–18:30, D
Plasmapolymerisiertes Hexamethyldisilazan zur Passivierung kryoelektronischer Bauelemente aus YBCO — •Laurent Mex, Arne Krämer, Christian Francke und Jörg Müller — Technische Universität Hamburg-Harburg, Eißendorferstr. 42, D-21073 Hamburg
Die elektrischen Eigenschaften kryoelektronischer Bauelemente aus dem Hochtemperatursupraleiter YBCO wie z. B. Josephsonkontakte können sich beim Betrieb unter dem Einfluß von Feuchtigkeit, atmosphärischem CO2 und häufigem thermischen Zykeln verschlechtern. Um dies zu verhindern, wurde eine Passivierungsschicht entwickelt, die mittels Plasmapolymerisation der siliziumorganischen Verbindung Hexamethyldisilazan durch plasmaunterstützte Abscheidung aus der Gasphase auf den YBCO-Strukturen abgeschieden wird. Die anodische Deposition beeinträchtigt die Eigenschaften der empfindlichen step-edge Josephsonkontakte nicht. 100nm dicke Filme zeigen ausgezeichnete Passivierungseigenschaften. Dies wird gezeigt an 6µm step-edge Kontakten, die definiert Feuchtigkeit und CO2 ausgesetzt wurden. Die Parameter IC und RN bleiben unverändert. Rasterkraftmikroskopische Aufnahmen zeigen die glatte Oberfläche dieser Schichten mit ausgezeichneter Kantenbedeckung.