Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 15: Postersitzung II: Massive HTSL (1-12), Supraleitung: Anwendungen (13-34), Josephsonkontakte und Kryoelektronik (35-75), Elektronenstruktur und Phononen in HTSL (76-79), Schwere Fermionen, Kondo-Systeme (80-99)

TT 15.39: Poster

Mittwoch, 25. März 1998, 15:00–18:30, D

Untersuchung und Optimierung von YBCO-Rampenkontakten mittels statistischer Methoden in der Versuchsplanung und
-auswertung — •J.-K. Heinsohn, G. Wahl, A. Engelhardt, R. Dittmann und G. Wahl — Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich

Die Herstellung von YBCO-Rampenkontakten mit PBCO-Barrieren untersuchen wir mittels statistischer Methoden. Durch systematische Variation der Substrattemperatur, der Energiedichte auf dem Target, des Sauerstoffdrucks sowie der Laserfrequenz können die signifikanten Effekte der Prozeßparameter und ihrer Wechselwirkungen quantitativ bestimmt werden. Bei der Herstellung planarer YBCO- und STO-Schichten durch Laserdeposition spiegelt sich die Bedeutung der Ausdehnung der Plasmakeule in der Signifikanz des Sauerstoffdrucks und der Energiedichte sowie deren Wechselwirkung wider. Unsere c-Achsen-orientierten YBCO-Schichten haben kritische Temperaturen von 88-90 K, spezifische Widerstände kleiner als 80 µ Ωcm und weisen eine geringe Ausscheidungsdichte auf. Beim Schichtwachstum über die Rampe haben Substrattemperatur und Laserfrequenz einen signifikanten Einfluß auf die Morphologie im Rampenbereich. Der Einfluß der Nukleation der Barriere auf die Eigenschaften der Rampenkontakte wurde untersucht.