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Regensburg 1998 – scientific programme

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 21: Postersitzung III: Spin-Peierls-Systeme, Metall-Isolator-Übergang, Lokalisierung; SL: Theorie; Quantenflüssigkeiten und -kristalle; Amorphe Materialien, Tunnelsysteme; Borcarbide, Fullerene, konventionelle SL; SL dünner Filme; Experimentiertechniken

TT 21.94: Poster

Thursday, March 26, 1998, 15:00–18:30, D

Räumlich aufgelöste Oberflächenwiderstandsmessungen an gesputterten 3-Zoll-YBCO-Filmen — •J. Halbritter1, R. Schwab1, R. Heidinger1 und J. Geerk21Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Materialforschung 1, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe — 2Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für nukleare Festkörperphysik

Grossflächige, mit YBCO-Filmen beschichtete Wafer bilden eine wichtige Ausgangskomponente für den Einsatz der Hochfrequenzsupraleitung in der Kommunikationstechnik. Zur Entwicklung geeigneter Sputterparameter sind räumlich aufgelöste Eigenschaftsmessungen wesentlich, insbesondere die quantitative Bestimmung des Oberflächenwiderstandes R(T,x,y).
Entsprechende Ergebnisse, die mittels eines Fabry-Perot-Resonators bei 145 GHz zwischen 10 und 150 K erhalten wurden, werden für verschiedene 3-Zoll-Filme vorgestellt. Der Einfluss von Schichtparametern und Sputterbedingungen wird diskutiert.

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