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Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 21: Postersitzung III: Spin-Peierls-Systeme, Metall-Isolator-Übergang, Lokalisierung; SL: Theorie; Quantenflüssigkeiten und -kristalle; Amorphe Materialien, Tunnelsysteme; Borcarbide, Fullerene, konventionelle SL; SL dünner Filme; Experimentiertechniken

TT 21.97: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–18:30, D

Die Richtungsabhängigkeit der Plasmakeule von verschiedenen perowskitischen Targetmaterialien — •M. Winter, T. Scherer und W. Jutzi — Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik, Universität Karlsruhe

Im Vakuum wird die Winkelverteilung des Plasmas, das durch einen Laserimpuls hervorgerufen wird, hauptsächlich durch die Stöße der ablatierten Teilchen untereinander bestimmt. Die Anwesenheit von Sauerstoff im Rezipienten bewirkt eine Auffächerung der Keule durch Stoßwechselwirkungen zwischen ablatierten Teilchen und Gas-Teilchen. Photographische Aufnahmen der Plasmakeule von polykristallinem YBCO, polykristallinem CeO2, einkristallinem NdGaO3 und einkristallinem LaAlO3 lassen verschiedene Hauptrichtungen erkennen, wenn der Laserstrahl unter einem Winkel von 45 auf das Target fällt. REM-Aufnahmen der Targets zeigen, daß ein Zusammenhang zwischen der Drehung der Plasmakeule und der Modifikation der Targetoberfläche durch den Laserbeschuß besteht. Bei YBCO ist eine ausgeprägte Strukturierung der Oberfläche und eine Drehung der Plasmakeule von 8 zu sehen, LaAlO3 und NdGaO3 zeigen leichte Wellenstrukturen und eine Drehung von ∼4, CeO2 besitzt eine vergleichsweise glatte Oberfläche und zeigt keine Drehung der Plasmakeule. Vorgestellt werden auch neueste Untersuchungen zu den Targetmaterialien (Ba,Sr)TiO3 und SrTiO3.

Bei der Schichtdeposition zur Herstellung homogener Filme muß diese Drehung berücksichtigt werden.

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