Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 3: Supraleitende Filme I

TT 3.2: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 10:00–10:15, H 20

Herstellung epitaktischer YBa₂Cu₃O_7−x (YBCO)-Filme mittels gepulster Laserablation auf Substraten bis zu 7 x 20 cm² Größe — •B. Schey, W. Biegel, R. Klarmann, M. Kuhn und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Die Deposition auf großflächigen Substraten (7 x 20 cm²) erfolgt mit gepulster Laserablation per Linienfokus von einem zylindrischen Target und dazu senkrechter Substratrasterung im Strahlungsheizer. Mit dieser Methode wurden großflächig YBCO-Filme auf verschiedenen Substratarten (SrTiO₃, LaAlO₃, Saphir, gepuffertes polykristallines YSZ) hergestellt. Die Schichten wurden bezüglich der Homogenität ihrer supraleitenden (J_C, T_C) und strukturellen (c-Achsenlänge, Δω(005) , X_min) Eigenschaften ortsaufgelöst untersucht. Auf den verschiedenen einkristallinen Substraten werden J_C-Werte im Bereich von 1-5 MA/cm² (T = 77 K) erreicht bei Übergangstemperaturen von über 89 K. Aus RBS/Channeling- und XRD-Messungen konnten großflächig X_min-Werte < 5 % bzw. FWHM der (005)YBCO-Rockingkurve < 0.3^∘ bestimmt werden. Die J_C-Variation auf einer Fläche von 7 x 20 cm² beträgt für YBCO-Filme auf LaAlO₃-Substraten ±25 %. Auf gepufferten polykristallinen YSZ-Substraten konnten großflächig kritische Stromdichten von 0.8±0.3 MA/cm² errreicht werden. Diskutiert werden die Homogenität der großflächigen Filme und der Einfluß der Depositionsrate auf deren supraleitenden und strukturellen Eigenschaften. Die Arbeiten wurden gefördert durch das BMBF (13N6482) und die Bayerische Forschungsstiftung (FORSUPRA).