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TT: Tiefe Temperaturen

TT 8: Josephson-Kontakte

TT 8.2: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 10:00–10:15, H 20

Josephson-Kontakt-Arrays aus YBa₂Cu₃O₇-Rampenkontakten — •H. Burkhardt, F. Schnell und M. Schilling — Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Universität Hamburg, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg

Nach einer Prozeßoptimierung mit Methoden der statistischen Versuchsplanung werden Einzel-Josephson-Kontakte in Rampengeometrie reproduzierbar hergestellt. Wir nutzen unsere Mehrlagentechnologie nun zur Herstellung von großflächigen Josephson-Kontakt-Arrays um einerseits die Eignung der Josephson-Kontakte für höher integrierte Schaltungen, wie Arrays, zu testen und anderseits die Parameterstreuung mit besserer Statistik beschreiben zu können. Zur Präparation verwenden wir KrF-Excimerlaser-Deposition, konventionelle Photolithographie und Argon-Plasma-Ätzen im Parallelplattenreaktor. In den Rampenkontakten wird PrBa₂Cu₃O₇ als Barrierenmaterial eingesetzt. Die Breite der Josephson-Kontakte liegt unter 2 µ m. Die elektrische Charakterisierung der einzelnen Josephson-Kontakte und der Josephson-Kontakt-Arrays erfolgt im Magnet- und Mikrowellenfeld. In Arrays verschiedener Größe untersuchen wir das Skalierungsverhalten der elektrischen Eigenschaften. Wir zeigen erste Ergebnisse dieser Messungen.

Das Projekt wird im Rahmen des Sonderforschungsbereichs SFB 508 “Quantenmaterialien - laterale und hybride Strukturen” von der Deutschen Forschungsgemeinschaft gefördert.