Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Pumpen

VA 1.2: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 10:10–10:30, H48

Compound-Vakuumpumpen für hohe Gasdurchsätze — •C. Reese, H. Lotz und A. Conrad — Pfeiffer Vacuum GmbH, Emmeliusstr. 33, D-35614 Asslar

Die maximalen Gasdurchsätze von Turbomolekular- und Compoundpumpen werden durch die auftretende Gasreibung limitiert, wenn ausreichend große Vorpumpen verwendet werden. Die Begrenzung ist dann technisch entweder durch die für den Antrieb maximal zur Verfügung stehende Leistung oder durch die Erwärmung des Rotors über die maximal zulässige Betriebstemperatur gegeben. Eine Erhöhung des Gasdurchsatzes kann daher durch Minimierung der auftretenden Gasreibung erreicht werden. Bei Compound-Pumpen wird eine Verbesserung erzielt, indem man die (in der Regel sehr geringen) Saugvermögen der Drag-Stufen deutlich erhöht. Über die Umsetzung dieses Konzeptes und die Ergebnisse wird berichtet.