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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 2: Druckmessung, Ausgasung, Metrologie
VA 2.4: Fachvortrag
Monday, March 23, 1998, 14:50–15:10, H48
Neue Entwicklungen bei Wärmeleitungsmanometern (Pirani) — •R. Stocker1 und N. Rolff2 — 1Balzers und Leybold Instrumentation, FL-9496 Balzers — 2Balzers und Leybold Instrumentation, D-50968 Köln
Der einfache Aufbau des Pirani-Manometers täuscht über die Komplexität seiner physikalischen Grundlagen und die damit verbundenen Auswertprobleme hinweg. Wir zeigen neue Möglichkeiten auf, um den Einfluß der Umgebungstemperatur zu verringern, den Messbereich zu erweitern und den Messwert zu digitalisieren.