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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung, Ausgasung, Metrologie

VA 2.5: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 15:10–15:30, H48

Kalte Katoden auf der Basis von Doppelbarrierensystemen — •Steffen Biehl¹, Jan Plsek², Lubos Dvorak², Vladimir Nikolajenko², Zlatko Knor² und Christian Edelmann¹ — ¹Otto-von-Guericke Universität, FNW-AVP, PF 4120, >39016 Magdeburg — ²J. Heyrovsky Inst. of Physical Chemistry, Dolejskova >3, 18223 Praha 8, CZ

>Es wurde eine neuartige nahezu punktfoermige Elektronenquelle fuer >einen potentiellen Einsatz in hochaufloesenden Elektronenmikro- >skopen (SEM, TEM) sowie der Druckmessung gefunden und deren >Eigenschaften bestimmt. Dazu wurden unterschiedliche Oxide auf fuer >Feldelektronen- und Feldionenmikroskopie her- gestellte >Wolframspitzen aufgebracht und diese mit Gold be- schichtet. Eine >deutliche Erhoehung der Tunnelwahrscheinlichkeit in Bezug auf die >saubere Wolframspitze konnte nachgewiesen und mit dem Phaenomen des >resonanten Tunnels erklaert werden. Durch den Einsatz von Gold als >zweite Metallschicht konnte eine gegenueber der Wolframspitze >wesentlich verbesserte und fuer den praktischen Einsatz solcher >Quellen wichtige Stabilitaet des Emissionsstroms im Restgas erzielt >werden. Neben dem Einfluss verschiedener Gase auf den Emissionstrom >wurde auch die Moeg- lichkeit des Regenerierens der urspruenglichen >Emissionseigen- schaften durch Heizen auf 600 K untersucht. >