Regensburg 1998 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung, Ausgasung, Metrologie

VA 2.6: Fachvortrag

Monday, March 23, 1998, 15:30–15:50, H48

Gasabgabemessung von beschichteten Metalloberflächen nach der Druckanstiegsmethode — •K. Keutel¹, Ch. Edelmann¹, H. Fuchs² und H. Mecke² — ¹Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, FNW/ IEP/ AVP, PF 4120, 39016 Magdeburg — ²Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, FET/ IELE, PF 4120, 39016 Magdeburg

Die Gasabgabe kann auf der Grundlage verschiedener Meßvorschrif- ten z.B. Durchsatzverfahren oder Differenzverfahren bestimmt wer- den. Daneben existiert ein einfacheres Meßprinzip, die Druckan- stiegsmethode. Entsprechend dieser Methode wurde eine Meßappara- tur aufgebaut. Mittels Kopplung an ein Meßwerterfassungssystem wurden die jeweiligen Druck-Zeit-Verläufe für verschiedene ober- flächenbehandelte metallische Proben aufgezeichnet und ausge- wertet. An gleichartig oberflächenbehandelten metallischen Pro- ben wurden Vergleichsmessungen mittels einer Versuchsanlage durch- geführt, die die Gasabgabestromdichte nach dem Differenzver- fahren bestimmt. Im Wesentlichen wurden die untersuchten Proben durch eine Beschichtung der gesamten Oberfläche behandelt. Hierfür wurde unter anderem das modifizierte Puls-Arc-Verfahren angewendet. Es werden das Anlagenkonzept für die Meßapparatur nach dem Druckanstiegsverfahren und erste Ergebnisse dargestellt und diskutiert. (Gefördert durch die DFG)