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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung, Ausgasung, Metrologie

VA 2.7: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 15:50–16:10, H48

Untersuchungen zum Einflu"s der Oberfl"achenrauigkeit auf die Gasabgabe — •Bernd Garke and Norbert Schindler — Otto-von-Guericke Universit"at Magdeburg, FNW/IEP/AVP, PF 4120, 39016 Magdeburg

In fr"uheren Untersuchungen wurde keine direkte Korrelation zwischen der Gasabgabe und der Rauigkeit metallischer Oberfl"achen festgestellt. Es stellt sich daher die Frage, ob die zur Rauigkeits"anderung eingesetzten Verfahren nicht auch zugleich die chemische Oberfl"achenzusammensetzung ver"andern und damit kompensierende Effekte auftreten k"onnen. Zur Durchf"uhrung der Untersuchungen wurden Edelstahloberfl"achen unter Variation verschiedener Behandlungsparameter mit Glaskugeln bestrahlt. Mittels Profiler wurden Linienprofile und Rauigkeitswerte ermittelt. Von ausgew"ahlten Proben erfolgte eine Oberfl"achencharakterisierung mittels REM sowie eine chemische Analyse mit Hilfe von AES und ESCA. Zur Bestimmung der partialen Gasabgabestromdichten wurde ein Gasabgabe-Me"splatz, der nach dem modifizierten Durchsatzverfahren arbeitet und die Messung kleinfl"achiger Proben gestattet, eingesetzt.