Regensburg 1998 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Vakuumverfahrenstechnik 1

VA 4.1: Invited Talk

Tuesday, March 24, 1998, 10:30–11:10, H48

Reaktives Doppelmagnetron-Sputtern zur großflächigen Herstellung optischer Schichtsysteme auf Glas und Folie — •J. Strümpfel und D. Schulze — von Ardenne Anlagentechnik GmbH, Plattleite 19/29, D-01324 Dresden

Die optische Beschichtung auf Architekturglas ist eine verbreitete Applikation der industriellen Großflächenbeschichtung, die durch Sputtern in großen Vakuum-Durchlaufanlagen realisiert wird. Zunehmendes Interesse findet das Sputtern mit sehr langen Doppelmagnetron-Sputterquellen. Diese werden eingesetzt, um langzeitstabil hoch- und niedrigbrechende Oxidschichten auf großen Glasflächen (3.2 m Breite) abzuscheiden. Diese Anforderung wird beherrscht durch die Nutzung von angepaßten Mittelfrequenz-Stromversorgungen hoher Leistung. Auch auf Folien können mit Hilfe dieser Technologie engtolerierte Antireflexions-Schichtsysteme (AR) fr Bildröhren großflächig hergestellt werden. Die notwendigen Maßnahmen zur in situ Prozeßregelung mittels Plasma-Emissions-Monitor und dosiertem Gaseinlaß werden diskutiert. Die Fixierung von Arbeitspunkten für die Doppelmagnetron-Sputterquellen erfolgt durch die on-line-Messung der optischen Schichteigenschaften. Industrielle Anlagensysteme zur Beschichtung großer Architekturglasflächen und Folienbahnen werden vorgestellt.