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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Vakuumverfahrenstechnik 1

VA 4.3: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 11:50–12:10, H48

Restgasanalysen an Röntgenröhren — •L. Koch — Philips Medical Systems

Neben der routinemäßigen Verfolgung des Totaldrucks geben qualitative Untersuchungen der Restgasatmospäre einer Röntgenröhre während ihrer Herstellung wichtige Hinweise auf korrekte Prozeßführung und die zu erwartende Performance. Neben den Standardgasen Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Wasser sind insbesondere höhere Kohlenwasserstoffe, Chlorverbindungen und Argon wichtig. Rückschlüsse auf Fehler bei vorgelagerten Prozeßschritten sind möglich, wie an Beispielen gezeigt wird.