Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 5: Vakuumverfahrenstechnik 2
Dienstag, 24. März 1998, 13:30–15:30, H48
![]() |
13:30 | VA 5.1 | Hauptvortrag: Technologie und Equipment zur Züchtung von Silizium-Einkristallen mit Durchmessern von 300 mm und mehr — •B. Altekrüger |
![]() |
14:10 | VA 5.2 | Hauptvortrag: 300 mm Wafer - The Challenge in Manufacturing Development for Future Semiconductor Processing — •P. K"ucher and J. R"ustig |
![]() |
14:50 | VA 5.3 | Hauptvortrag: Metallisierungskonzepte für innovative integrierte Schaltungen — •A. Klumpp und P. Ramm |