Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 5: Vakuumverfahrenstechnik 2
VA 5.3: Hauptvortrag
Dienstag, 24. März 1998, 14:50–15:30, H48
Metallisierungskonzepte für innovative integrierte Schaltungen — •A. Klumpp und P. Ramm — Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München