Regensburg 1998 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 5: Vakuumverfahrenstechnik 2
VA 5.3: Invited Talk
Tuesday, March 24, 1998, 14:50–15:30, H48
Metallisierungskonzepte für innovative integrierte Schaltungen — •A. Klumpp und P. Ramm — Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München