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K: Kurzzeitphysik
K IV: HV IV
K IV.1: Invited Talk
Thursday, March 18, 1999, 10:30–11:00, GE1
Vorbehandlung von Polymeren mit UV-Excimerstrahlung und Plasmen bei Atmosphärendruck zur haftfesten und selektiven Metallisierung — •E.W. Kreutz1, H. Horn Solle1, S Beil2 und K. Pochner2 — 1Lehrstuhl für Lasertechnik, RWTH Aachen, Steinbachstraße 15, D-52074 Aachen — 2Fraunhofer Institut fur Lasertechnik, Steinbachstraße 15, D-52074 Aachen
Die Haftung metallischer Schichten auf Polymeren ist ein grundlegende
Notwendigkeit für die Anwendung metallisierter Polymere in der
Elektronik oder der Mikrosystemtechnologie. Sie wird auf
mikroskopischer Ebene von den chemischen und den strukturellen
Eigenschaften der Polymeroberfläche beeinflußt.
Durch Bestrahlung mit UV-Excimerlaserstrahlung, UV-Excimerlampenstrahlung
oder Atmosphärenplasmen kann die Polymeroberfläche funktionalisiert
werden. Dabei
erfolgt eine chemische Modifizierung der Oberfläche, die zu veränderten
Wechselwirkung mit umgebenden Medien führt. Dies ermöglicht durch eine
selektive Ankopplung von Komplexen eine selektive Metallisierung
und führt zu einer verbesserten Haftung elektrochemisch abgeschiedener
Metallschichten. Durch Laserbestrahlung oberhalb der Abtragschwelle des Polymers
ist außerdem eine Veränderung der Oberflächenmorphologie möglich, die eine
mechanische Verankerung der Metallschichten bewirkt.
Gefördert vom
BMBF,Förderkenzeichen: 13N6675