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MS: Massenspektrometrie

MS 6: Beschleunigermassenspektrometrie

MS 6.8: Vortrag

Dienstag, 16. März 1999, 15:45–16:00, PA 3

Betrieb einer Sputterquelle mit Rubidium — •Alexander Duhr und Martin Suter — Institut für Teilchenphysik, ETH-Hönggerberg, 8093 Zürich, Schweiz

Sputter-Ionenquellen werden üblicherweise mit Cäsium als Primärstrahl betrieben. Da dies in den verbreiteten Anwendungsfällen hinreichend hohe Sekundärströme liefert, bestand bisher kein Bedarf, andere „Treibstoffe “näher zu untersuchen. Bei der Vielzahl der von unserem Labor untersuchten Sekundärionen, mit zum Teil sehr niedrigen Strömen im Bereich von einigen nA, kann es aber von Bedeutung sein, wenn durch Einsatz eines anderen Primärions die Ausbeute gesteigert werden könnte.

Daher haben wir eine existierende Quelle für den Betrieb mit Rubidium modifiziert und die Sputterausbeuten in verschiedenen Anwendungsfällen mit denen für Cäsium verglichen. Die Sekundärströme verschiedener Elemente als Funktion von Neutralgasdruck und bestrahlter Fläche wurden gemessen und die Transmission durch den angeschlossenen Beschleuniger bestimmt.