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P: Plasmaphysik

P 12: Entladungen II

P 12.2: Vortrag

Donnerstag, 18. März 1999, 12:15–12:30, ZO 2

Beobachtung einer Ionisationsinstabilität in einer Sauerstoff-Radiofrequenzentladung im GEC-Reaktor — •H.-M. Katsch, E. Quandt, A. Goehlich, T. Kawetzki und H.F. Döbele — Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universität GH Essen, Universitätsstr.5, 45117 Essen

genau einmal Eine Sauerstoff-RF-Entladung (Anregungsfrequenz 13,56 MHz) wird in einer GEC-Reference-Cell (planparallele Plattengeometrie) bei Anregungsspannungen von 100 V bis 500 V in einem Druckbereich von 10 Pa bis 70 Pa betrieben. Wie vorgestellt wird, zeigt diese Entladung über weite Bereiche des Parameterraumes ein instabiles Verhalten, welches sich durch niederfrequente Oszillationen (im kHz-Bereich) von Plasmapotential, Floatingpotential, Elektronentemperatur und Lichtemission äußert. Diese Oszillationen passen zum Bild der anlagerungsinduzierten Ionisationsinstabilität. Voraussetzungen für deren Auftreten, welche bei der untersuchten Entladung erfüllt sind, sind eine hinreichende Dichte der negativen Ionen und ein mit anwachsender Elektronentemperatur ansteigender Ratenkoeffizient der Elektronenanlagerung (Erzeugung negativer Ionen).
Das Vorhaben wird von der DFG im Rahmen des SFB 191 gefördert.