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P: Plasmaphysik

P 14: Theorie II

P 14.3: Vortrag

Donnerstag, 18. März 1999, 14:45–15:00, CH 2

Numerische Modellierung der HF-Randschicht unter Beachtung der Feld- umkehr — •Hans-Burkhard Valentini — Institut für Physikalische Hochtechnologie e. V., 07702 Jena

Messungen [1] aus jüngster Zeit und Rechnungen (z. B. [2]) haben gezeigt, daß in der Randschicht einer kapazitiv gekoppelten HF-Entladung sich die Richtung des elektrischen Feldes in einem kurzen Intervall je Periode um- kehrt, wenn die HF-Amplitude groß ist. Dieser Vorgang beeinflußt u. a. die Elektronendichte und das Floatingpotential. Bisherige Modelle beschrei- ben diesen Vorgang unzureichend. Es wird ein Modell angegeben, welches ent- sprechende Erweiterungen enthält. Für das klassische Modell der HF- Schicht und das neue Modell werden Randwertaufgaben mit festen Grenzen für Systeme gewöhnlicher Differentialgleichungen formuliert. Die Randwertprobleme sind mit einem Relaxationsverfahren für verschiedene Randbedingungen (vorgegebe- ne Elektrodenspannung, vorgegebener Stromverlauf) gelöst worden. Die nume- rischen Ergebnisse beider Modelle werden miteinander und mit experimentellen Ergebnissen [1] verglichen. Nahe der Elektrode treten bei großen HF- Amplit- den deutliche Unterschiede zwischen beiden Modellen auf. - Gefördert durch den Sonderforschungsbereich 191 (Ruhr-Universität Bochum, Institut für Theoretische Physik I). [1] U. Czarnetzki, D. Luggenhölscher, H. F. Döbele; 14.ESCAMPIG, Malahide, Irland, 26.-29.8.1998 [2] H.-B. Valentini; 14. ESCAMPIG, Malahide, Irland,26.-29.8.1998