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P: Plasmaphysik

P 14: Theorie II

P 14.5: Vortrag

Donnerstag, 18. März 1999, 15:15–15:30, CH 2

Schichtrelaxation bei der Plasma–Immersions–Ionenimplantation — •K.–U. Riemann und Th. Daube — Ruhr–Universität Bochum, Theoretische Physik I, D–44780 Bochum

Die Relaxation der Schicht vor einer Elektrode, an die plötzlich hohe negative Spannung angelegt wird, wird mit einem Stufenmodell behandelt. Dabei lassen sich die „Matrix–Extraktions–Phase“ und die „Expansionsphase“  unterscheiden. Übliche Theorien der Matrix–Extraktions–Phase beruhen auf einem heuristischen Ansatz Liebermans [1], der von unbegründeten ad–hoc Annahmen ausgeht. Wir stellen ein neues analytisches Modell vor, das auf solche künstlichen Annahmen verzichtet und hervorragende Übereinstimmung mit den numerischen Lösungen der entsprechenden hydrodynamischen Gleichungen liefert. Durch einen geeigneten Parameteransatz gelingt es, auch die nachfolgende Expansionsphase befriedigend zu beschreiben. (Gefördert vom BMBF, Förderkennzeichen F+E 13N6710.)

[1] M. A. Lieberman, J. Appl. Phys. 66, 2926 (1989)