Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 19: Plasmatechnologie und Sonstiges

P 19.3: Vortrag

Freitag, 19. März 1999, 12:30–12:45, ZO 2

Insitu-Beobachtung der Größenänderung von Teilchen in reaktiven Plasmen durch Mie-Ellipsometrie — •G. Gebauer und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum

Ziel ist die Ausarbeitung und Fortentwicklung einer Diagnostik zur insitu-Bestimmung der Größen- und der Dichteverteilungsfunktion von Teilchen, die sich durch Koagulation von Makromolekülen in einen reaktiven Plasma bilden.

Mittels eines durch das Plasma eingebrachten kontinuierlichen, linear polarisierten Laserstrahls, dessen Licht an den Teilchen gestreut wird, wird bei der Mie-Ellipsometrie der Polarisatonszustand dieses gestreuten Lichtes untersucht. Bei festgelegtem Streuwinkel wird der Polarisationszustand des Streulichtes mit Hilfe eines Rotations-Analysators gemessen und daraus der Radius und die optischen Materialkonstanten der Teilchen auf der Grundlage der Mie-Theorie berechnet.

Durch die kontrollierte Abscheidung dieser Teilchen aus dem Plasma auf ein Substrat kann beispielsweise eine gleichmäßige dünne, amorphe Schicht mit nanokristallinen Einschlüssen aufgebaut werden. Die Eigenschaften dieser Schichten können je nach Anteil der kristallinen Phase gezielt verändert werden.

Diese Arbeit wird gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191 Teilprojekt B8.