Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 20: Diagnostik (Poster)
P 20.26: Poster
Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY
Einsatz eines IR-Spektrometers mit Multipassanordnung an einem CH4/O2 RF-Plasma — •I. Möller, C. Busch und H. Soltwisch — Institut für Experimentalphysik V, Ruhr-Universität Bochum
Reaktive Kohlenwasserstoff-Plasmen mit Beimischungen von Sauerstoff zeigen eine komplexe Plasmachemie, die bisher nur unzureichend verstanden ist.
Da molekulare Spezies charakteristische Absorptionsbanden im Infraroten besitzen, können Eigenschaften wie Dichte und Temperatur aus der Form und Größe von Absorptionsprofilen bestimmt werden.
Zu diesem Zweck wurde ein mit Diodenlasern arbeitendes IR-Spektrometer aufgebaut, das eine zur Bestimmung der Linienprofile notwendige spektrale Auflösung besitzt und dessen Sensitivität durch eine Multipassanordnung nach Herriott gesteigert wird.
Das Spektrometer wird zur Untersuchung von Teilen der Plasmachemie einer kapazitiv gekoppelten Methan/Sauerstoff-Entladung bei νRF =13.56 MHz eingesetzt.
Der experimentelle Aufbau und Messungen am Plasma werden vorgestellt.