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P: Plasmaphysik

P 20: Diagnostik (Poster)

P 20.43: Poster

Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY

Erprobung von alternativen Anregungsschemata zum Nachweis von atomarem Fluor in Entladungen mit Laser-induzierter Fluoreszenzspektroskopie — •A. Francis, U. Czarnetzki und H.F. Döbele — Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universität GH Essen, Universitätsstr. 5, 45117 Essen

einmal

Der Nachweis von Radikalen ist bei reaktiven Plasmaentladungen im Hinblick auf technische Anwendungen wie plasmaunterstützte Beschichtungs- und Ätzverfahren von großer Bedeutung. Die quantitative Bestimmung von Konzentrationen atomaren Fluors soll hier durch die Methode der zwei-Photonen-angeregten Laser-induzierten Fluoreszenzspektroskopie (TALIF) erfolgen. Dazu können verschiedene Anregungsschemata mit Laserwellenlängen im VUV-Bereich untersucht werden: 2 x λ = 153 nm oder λ = 163 nm zusammen mit λ = 175 nm. Diese Strahlung wird durch anti-Stokes Raman-Konversion hoher Ordnung der Laserwellenlänge λ = 248 nm erzeugt. Dieses Verfahren wird zur Anwendung an einer kapazitiv gekoppelten RF-Entladung derzeit vorbereitet. Zunächst jedoch werden die Fluor-Atome mit Hilfe eines Mikrowellen-Strömungssystems erzeugt, wodurch mit einem Tritrationsverfahren eine Absolutkalibrierung des Detektionssystems möglich ist. Über den derzeitigen experimentellen Stand wird berichtet.