Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 20: Diagnostik (Poster)
P 20.47: Poster
Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY
Bestimmung der Elektronendichte in einer Methan/ Wasserstoff/ Argon RF-Entladung mit einem 1 mm Mikrowelleninterferometer — •C. Lukas1, V. Schulz- von der Gathen1, H.F. Döbele1, M. Käning2 und J. Röpcke2 — 1Universität GH Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universitätsstr.5, 45117 Essen — 2Institut für Niedertemperatur- Plasmaphysik, Robert-Blum-Str. 8-10, 17489 Greifswald
An einer kapazitiv gekoppelten RF-Entladung bei 13.56 MHz in Gemischen aus
Methan, Wasserstoff und Argon werden mit einem 1 mm Heterodyn-
Mikrowelleninterferometer Abhängigkeiten der Elektronendichte von
Senderleistung und Zusammensetzung des Gasgemisches bei festem Gesamtdruck
(100 Pa) untersucht. Beobachtet wird in der zentralen Ebene zwischen den
beiden Edelstahl-Elektroden (φ = 100 mm, d = 25 mm) mit einer
Ortsauflösung von 7 mm. Bei einer unteren Detektionsgrenze von einigen10
10cm−2 liegen die maximalen gemessenen Liniendichten der
Elektronen bei einigen10 11cm−2 . Bei einer Änderung des
Argon-Anteils von 0 auf 90 % am Gesamtdruck steigt dieser Wert um einen
Faktor 5 an. Gleichzeitig ändert sich dabei die
Elektronenenergieverteilung wie durch einen Vergleich mit unabhängigen
Meßverfahren (Emissionsspektroskopie und Infrarot- Laserdioden-
Absorptionsspektroskopie) belegt werden kann. Radiale
Elektronendichteprofile, die mit Hilfe der Abel- Inversion bestimmt werden,
zeigen für diese Entladungsform wie auch im Falle der reinen Gase Argon
und Wasserstoff ein Einbrechen im Zentrum.
Gefördert im Rahmen des SFB
191 ”Physikalische Grundlagen der Niedertemperaturplasmen” und des SFB
198 ”Kinetik partiell ionisierter Plasmen”.