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P: Plasmaphysik

P 20: Diagnostik (Poster)

P 20.48: Poster

Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY

Untersuchungen zur Diagnostik von Neutralen und Radikalen in anisothermen Plasmen mittels Elektronenanlagerung — •H.-E. Wagner , R. Brandenburg und V. Kroutilina — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstrasse 10a, 17489 Greifswald

Ein Plasmamonitor der Firma HIDEN Analytical (Typ EQP 300), ausgerüstet mit einem RGA-System für negative Ionen, wurde bezüglich seiner Empfindlichkeit zur Detektion neutraler Moleküle und Radikale im Elektrodenbereich von Mittelfrequenz (120 kHz) - und HF Entladungen (13,56 Mhz) erprobt. Die Ionenquelle des Monitors ermöglicht die assoziative und dissoziative Resonanzanlagerung von Elektronen an die Spezies und ihre nachfolgende Detektion. Die Untersuchungen konzentrieren sich auf das Modellsystem CO₂ − CO − O₂ im Arbeitsdruckbereich 10 ... 100 Pa. Sie werden zur Zeit auf CF₄ und H₂ O im Gemisch mit He ausgedehnt. Die Messungen erfolgen vergleichend für Orifice Durchmesser von 0.05 mm und 0.15 mm. Insbesondere wird die Partialdruckkalibrierung sowie die Grenze für den Nachweis der Modellsubstanz CO (unter Ausnutzung der Kanäle CO + e = CO⁻ , C+O⁻) angegeben sowie erste Ergebnisse über den Nachweis von Radikalen in CF₄ und H₂ O-Plasmen vorgestellt.