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P: Plasmaphysik
P 20: Diagnostik (Poster)
P 20.52: Poster
Monday, March 15, 1999, 16:30–19:00, PY
Charakterisierung eines HF-Plasmas zur Behandlung von mikrodispersen Partikeln — •M. Otte1, H. Kersten1, M. Schmidt2, M. Hannemann2 und R. Hippler1 — 1Inst. f. Physik, Univ. Greifswald, Domstr. 10a, D-17487 Greifswald — 2Inst. f. Niedertemperaturplasmaphysik, R.-Blum-Str. 8–10, D-17489 Greifswald
Mikrodisperse Pulverteilchen, die in ein HF-Plasma eingebracht werden, laden sich sehr schnell negativ auf. Infolge dieser Aufladung werden die Teilchen in einem Potentialtopf, der vornehmlich aus der Bilanz von Gewichtskraft und elektrostatischer Feldkraft resultiert, gefangen. Ein erster Schritt zum Verständnis der Wechselwirkung zwischen Plasma und mikroskopischen Festkörpern besteht in der Charakterisierung des ungestörten (partikelfreien) HF-Plasmas. Die Untersuchung der Elektronenkomponente erfolgte mit unterschiedlichen Methoden:
- Langmuir-Sondendiagnostik,
- SEERS (self-excited electron resonace spectroscopy) sowie
- Bestimmung der Randschichtdicke vor der HF-Elektrode.
Entladungsleistung und Gasdruck wurden in einem weiten Parameterbereich variiert: 10 …100W, 0.1 …1Pa Ar/Luft. Die drei Methoden zur Diagnostik der Elektronenkomponente (ne und kTe ) werden miteinander verglichen und hinsichtlich ihrer Einsetzbarkeit beim Studium der Plasma-Partikel-Wechselwirkung bewertet.