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P: Plasmaphysik

P 21: Plasmatechnologie (Poster)

P 21.10: Poster

Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY

Plasmodul - Ein modulares Plasmasystem — •Andreas Schulz, Klaus-Martin Baumgärtner, Jochen Feichtinger, Mathias Kaiser, Matthias Walker und Eberhard Räuchle — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, D-70569 Stuttgart

Es wird eine Plasmaanlage - das Plasmodul - vorgestellt, welches sich durch ein großflächiges, homogenes Plasma auszeichnet. Durch den modularen Aufbau läßt sich das System dem gewünschten Prozeß anpassen.

Das Herzstück der Anlage bildet das Plasmaquellenmodul. Es besteht aus einem Array von vier parallel angeordneten Duo-Plasmalines.

Eine einzelne Duo-Plasmaline arbeitet ähnlich einer umgekehrten Leuchtstoffröhre: Rohrinneres auf Atmosphärendruck, Außenbereich im Niederdruck.

In ein Quarzrohr mit zentral angeordnetem Kupferstab wird durch eine koaxiale Anordnung Mikrowelle aus zwei Magnetrons eingespeist. Bei Überschreiten der Zündfeldstärke im Außenbereich bildet sich ein zylindersymmetrisches Plasma aus, das die Rolle des Außenleiters der Koaxialanordnung übernimmt.

Bei der Arrayanordnung des Plasmoduls überlagern sich die vier zylindersymmetrischen Plasmen zu einem großflächigen, homogenen Plasma.

In der vorgestellten Arbeit wird die Homogenität des Plasmas durch Sondenmessungen gezeigt. Zusätzlich werden einige Anwedungsmöglichkeiten, wie Ätzen und Beschichten, und die Flexibilität des Plasmoduls untersucht.