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P: Plasmaphysik

P 21: Plasmatechnologie (Poster)

P 21.5: Poster

Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY

Infrarot- und Massenspektrometrie an einer kapazitiven HF-Entladung in Methan-Argon-Gemischen — •G. Himmel, G. Mümken und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum

Die zeitliche Entwicklung simultan aufgezeichneter Absorptions- und Massenspektren gibt Aufschluß über plasmachemische Prozesse, die zu charakteristischen Änderungen der Komponentenzusammensetzung der Entladung führen. Weitere Beiträge zu einem umfassenden Verständnis werden von der spektroskopischen Messung atomarer Wasserstoff- und Argon-Linienübergänge sowie von der Anwendung von Langmuirsonden zur Bestimmung der Plasmaparameter erwartet.

Die Zeitskalen für die Ansammlung der Reaktionsprodukte (z. B. Ethan, Acetylen und Propylen) und für das Auftreten von Zwischenprodukten sowie die Abhängigkeit dieser Zeitskalen von Entladungsparametern geben Hinweise zur Unterscheidung einzelner Prozeßabläufe. Parallel dazu wird die Abscheidung von Kohlenstoff-Filmen auf den Elektroden beobachtet. Das nachfolgende Ätzen der Kohlenstoffschichten mit Sauerstoff ist von der Anreicherung von Kohlenmonoxid in der Entladung begleitet. Es wird über Möglichkeiten berichtet, eine quantitative Auswertung der entsprechenden Signaturen in den Spektren durchzuführen.

Gefördert von der DFG im SFB 191 (Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt B8).