Heidelberg 1999 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 24: Entladungen (Poster)

P 24.18: Poster

Tuesday, March 16, 1999, 16:30–19:00, PY

Strom-Spannungs- und Impedanzmessungen an CCRF-Entladungen — •D. Teuner, C. Lücking und J. Mentel — Ruhr-Universität Bochum, Arbeitsgruppe für Grundlagen der Elektrotechnik, D-44780 Bochum

genau einmal Die zuverlässige Messung von Strom, Spannung und Phasenwinkel an HF-Entladungen stellt wegen parasitärer Kapazitäten und Einstrahlungen in Messgeräte bislang eine große Schwierigkeit dar. Durch ein aus der Netzwerkanalysatortheorie bekanntes Verfahren lassen sich diese Größen wesentlicher zuverlässiger bestimmen. Dazu werden möglichst nah an den Elektroden zwei voneinander unabhängige elektrische Signale gemessen. Durch eine vorherige Kalibrierung des Systems lassen sich aus diesen Signalen Strom, Spannung und Phasenwinkel an den Elektroden bestimmen.

Es werden weiterhin mit dieser Methode gewonnene Ergebnisse an einer kapazitiven HF-Entladung in Helium, Neon und Argon vorgestellt. Die Entladung wurde in Quarz- bzw. Al₂O₃-Röhren mit 9 bzw. 7 mm Innendurchmesser bei einer Frequenz von 13.56 MHz betrieben. Die außen anliegenden Elektroden besaßen eine Länge von ca. 10 cm. Die zugeführte HF-Leistung betrug 2-200 W. Mit Hilfe eines geeigneten Ersatzschaltbildes der Anordnung und einer Abschätzung der Elemente lassen sich Strom, Spannung und Impedanz an der Entladung selber bestimmen.

(Gefördert durch die DFG, SFB 191, Projekt A10)