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Q: Quantenoptik

Q 14: Optische Technik II

Q 14.5: Vortrag

Montag, 15. März 1999, 18:00–18:15, AM3

Vermessung von Phasensingularitäten in der Umgebung von sub-µm-Strukturen mit einem Interferometer — •Manfred Eberler, Susanne Quabis, Manfred Piringer, Oliver Glöckl, Marco Vogt, Ralf Dorn und Gerd Leuchs — Lehrstuhl für Optik, Physikalisches Institut, Univ. Erlangen-Nürnberg, Staudtstr. 7/B2, 91058 Erlangen

Vorgestellt werden experimentell ermittelte Phasenverteilungen in der Umgebung von sub-µm-Strukturen. Die Phase des rückgestreuten Lichts wird mit Hilfe eines Linnik-Interferometers unter Köhler-Beleuchtung mit partiell kohärentem Licht vermessen. Dabei zeigt sich, daß es Punkte im Feld gibt, an denen die Phase unbestimmt ist. Diese sog. Phasensingularitäten können mit einer Genauigkeit ≪ λ aufgefunden werden und liegen für 3-dimensionale Objekte auf geschlossenen Kurven im Raum. Die komplexe Struktur dieser Kurven liefert bereits einen ersten Anhaltspunkt über die Form des Objekts. Um genaue Strukturparameter gewinnen zu können, muß zusätzliche Information wie z.B. Material und Breite eines Steges vorliegen. Der Vergleich zwischen theoretischem Modell und gemessener Lage der Singularitäten kann dann die gesuchte Information liefern. Es wurden sowohl 3-dimensionale Strukturen wie Kugeln, als auch quasi 2-dimensionale Strukturen wie Gräben und Stege untersucht.