Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm

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Q: Quantenoptik

Q 30: Poster: Optische Technik

Q 30.5: Poster

Dienstag, 16. März 1999, 16:30–18:30, PH

Berechnung des elektrischen Feldes in der Umgebung von sub-λ-Strukturen — •Marco Vogt, Manfred Piringer, Susanne Quabis, Manfred Eberler, Oliver Glöckl, Ralf Dorn und Gerd Leuchs — Lehrstuhl für Optik, Physikalisches Institut, Univ. Erlangen-Nürnberg, Staudtstr. 7/B2, 91058 Erlangen

Im reflektierten Feld können in der Umgebung von sub-λ-Strukturen Phasensingularitäten auftreten, deren Lage mit einer Genauigkeit von einigen 10nm bestimmbar ist. Die Möglichkeit, damit laterale Überauflösung zu erreichen wurde in Verbindung mit einem theoretischen Modell des rückgestreuten elektrischen Feldes untersucht. Dieses iterative Verfahren löst die Maxwell-Gleichungen im Rahmen der Diskretisierung der untersuchten Struktur exakt. Es basiert auf dem Green’schen Formalismus und wurde zur Anpassung an die experimentelle Situation auf ein 2-Schicht-System erweitert. Die Berechnungen wurden für quasi 2-dimensionale Strukturen wie Stege und Gräben durchgeführt und es ergab sich ein stark nichtlinearer Zusammenhang zwischen der Position der Singularitäten und den verschiedenen Strukturparametern. Für einen Vergleich mit dem Experiment wurde der Meßprozeß und die Propagation des Feldes im Interferometer in der Simulation berücksichtigt.