Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm

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SYAO: Symposium Angewandte Optik

SYAO 2: Angewandte Optik

SYAO 2.3: Vortrag

Freitag, 19. März 1999, 14:30–14:45, PH1

Refraktive Strahlformungselemente — •Lars-Christian Wittig, Frank Wyrowski und E.-B. Kley — Friedrich-Schiller-Universität Jena, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena

Für technische und wissenschaftliche Anwendungen werden oftmals Strahlprofile benötigt, die von einer Gaußschen Verteilung abweichen. Die Umformung der Intensitätsverteilung kann mithilfe von Strahlformungselementen erfolgen. Derartige mikrooptische Elemente können sowohl durch ein stetiges Höhenprofil („refraktiv“) als auch durch ein Profil mit Höhen-Sprüngen („diffraktiv“) realisiert werden. Kontinuierliche Höhenprofile besitzen den Vorteil geringer Wellenlängensensitivität und hoher Beugungseffizienz.
Als Beispiel wird ein spezielles Strahlformungselement (Gauß zu Top-Head) vorgestellt. Das Höhenprofil wurde durch Anwendung analoger Photolithographie in Kombination mit einem Oberflächenspannungsverfahren erzeugt. Es werden Ergebnisse der optischen Charakterisierung des Elements vorgestellt und die gewonnenen Parameter dem entsprechenden „diffraktiven“ Element gegenübergestellt.