Heidelberg 1999 – scientific programme

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T: Teilchenphysik

T 209: Halbleiterdetektoren 2

T 209.6: Talk

Monday, March 15, 1999, 17:45–18:00, MA2

Messungen an ATLAS Pixel Detektor Modulen in MCM-D Technologie — •O. Bäsken, K.H. Becks, J. Drees und P. Gerlach — ATLAS Kollaboration und Fachbereich Physik, Bergische Universität - GH Wuppertal, Gaußstraße 20, 42097 Wuppertal

Für das ATLAS Experiment am CERN ist ein Pixel Vertex Detektor aus über 2000 Modulen geplant. Jedes dieser Module stellt mit 16 Auslesechips und einem Kontrollchip über 60000 Detektorelemente zur Verfügung. Einer der Ansätze für den Aufbau dieser Module nutzt die „Multi Chip Module - Deposited“ (MCM-D) Technolgie. Diese erlaubt es unter Verwendung von Kupfer als Leiter und Benzocyclobuten (BCB) als Dielektrikum bis zu fünf Leiterbahnebenen für die Verbindung der Elektronik zu nutzen. Der aktuelle Stand dieser Entwicklung und erste Messungen an kompletten Modulen werden in diesem Vortrag vorgestellt.