Münster 1999 – scientific programme

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AM: Magnetismus

AM 10: Postersitzung

AM 10.68: Poster

Tuesday, March 23, 1999, 16:15–20:00, F\"urstenberghaus

Herstellung von magnetischen Nanostrukturen mittels Laser-Interferenz-Lithographie — •S. Poppe, P. Kimmel, M. Bauer, J. Fassbender und B. Hillebrands — Fachbereich Physik und Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkt Materialwissenschaften, Erwin-Schrödinger-Str. 56, Universität Kaiserslautern, 67653 Kaiserslautern

Eine Laser-Interferenz-Lithographie (LIL) Anlage, bestehend aus einem UV-Argonionenlaser und einem extrem stabilen optischen Aufbau, wurde zur Herstellung von magnetischen Drähten und Ellipsen mit Perioden zwischen 176 nm und 1000 nm und lateraler Ausdehnung bis zu 40 nm entwickelt. Weiterhin wurde ein Strukturübertragungsprozeß, basierend auf einem mehrlagigen Photolacksystem, zur Verbesserung der Probenqualität bezüglich Kantendefinition und Aspektverhältnis entwickelt. Dies ist von besonderer Bedeutung für Strukturen, die eine mehrfache Belichtung erfordern. Erste Experimente ergaben Kantenwinkel größer 85 Grad und Aspektverhältnisse größer eins.