Münster 1999 – scientific programme
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AM: Magnetismus
AM 13: Magnetowiderstand und Magnetoimpedanz III
AM 13.7: Talk
Wednesday, March 24, 1999, 18:30–18:45, F4
Kraftmikroskopische Untersuchungen an magnetischen Tunnelelementen — •M. Justus, H. Brückl, K. Rott, J. Schmalhorst und G. Reiss — Universität Bielefeld
Der Magnetowiderstand in Tunnelelementen hängt kritisch von der
Beschaffenheit der Grenzflächen zu der Tunnelbarriere ab. Deshalb
wurden ferromagnetische Tunnelelemente präpariert und die Abhängigkeit
der Rauhigkeit der einzelnen Lagen von den Prozessparametern
systematisch untersucht. Die Schichtsysteme hatten folgenden Aufbau:
Cu[30nm] Co[30nm] Al2O3[0.6… 1.8nm] Py[30nm]
Cu[30nm] auf oxidierten Siliziumscheiben.