Münster 1999 – scientific programme

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DF: Dielektrische Festkörper

DF 7: Gläser

DF 7.6: Talk

Thursday, March 25, 1999, 17:00–17:20, R2

Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften von beschichteten Glassubstraten mittels Indentierungs- und Balkenbiegeexperimenten im Nanoindenter II — •A. Zeckzer und P. Grau — Martin-Luther-Universität Halle Wittenberg,Fachbereich Physik, F.-Bach-Platz 6, D-06108 Halle

Es werden sowohl die Härte als auch der Elastizitätsmodul von Schichtsystemen mit registrierenden Penetrationsversuchen im Nanometerbereich ermittelt. Durch Überlagerung des Eindruckexperimentes mit einer Oszillation (Amplitude 1nm) ist es möglich, den Elastizitätsmodul kontinuierlich über den gesamten Eindringvorgang zu bestimmen. Die Proben werden außerdem im Submikrometerbereich gebogen, womit die Bestimmung des Elastizitätsmoduls unabhängig auch aus der Balkenbiegung und somit ein Vergleich der Verfahren möglich ist. Als Modellproben wurde 150 Mikrometer dickes Glas, auf dem Schichten (TiN und InSnO) von etwa 1 Mikrometer Stärke aufgebracht waren, verwendet.