Münster 1999 – scientific programme

Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

DS: Dünne Schichten

DS 10: Schichtabscheidung

DS 10.4: Fachvortrag

Monday, March 22, 1999, 16:15–16:30, H 55

Herstellung und Charakterisierung biaxial texturierter Cer-Gadolinium-Oxid Filme mittels ionenstrahlunterstützter Deposition — •J. Dzick^1,2, J. Wiesmann¹, J. Hoffmann¹ und H.C. Freyhardt¹ — ¹Institut für Materialphysik, Universität Göttingen, Windausweg 2, 37073 Göttingen — ²kabelmetal electro GmbH, Kabelkamp 20, 30179 Hannover

Mittels ionenstrahlunterstützter Deposition (IBAD) wurden in einer Depositionsanlage mit zwei 2,5 cm Kaufman-Ionenquellen biaxial texturierte Filme aus Ce_0,9Gd_0,1O_1,95 (CGO) präpariert. CGO ist kubisch und enthält aufgrund des Gadolinium-Zusatzes strukturelle Sauerstoffleerstellen. Die Gitterkonstante ist mit 0,5431 nm gegenüber reinem CeO₂ vergrößert. Für den Einsatz als epitaxiefähige Pufferschicht für supraleitende Y₁Ba₂Cu₃O_7−x-Filme egibt sich eine Gitterfehlpassung von 0,5%.

Untersucht wurde die Abhängigkeit der Texturierung von der Richtung und der Energie des unterstützenden Ionenstrahls. Ohne Ionenunterstützung wächst CGO polykristallin auf. Durch den Einsatz des unterstützenden Ionenstrahls wird bei Einschusswinkeln zwischen 45^∘ und 80^∘ (gemessen zur Substratnormalen) ein ausgeprägtes (001)-Wachstum erreicht. Zusätzlich erhält man eine in-plane Textur, bei der sich eine (111)-Achse des CGO zum unterstützenden Ionenstrahl hin orientiert. Die beste bisher erreichte in-plane Textur mit einer Halbwertsbreite der (111)-Reflexe von 25^∘ konnte in 300 nm dicken CGO-Filmen beobachtet werden.