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DS: Dünne Schichten

DS 12: Laserverfahren II

DS 12.4: Fachvortrag

Montag, 22. März 1999, 18:30–18:45, H 55

Kreuzstrahl-PLD: ein neuartiges Verfahren der Dünnschichtherstellung — •Andre Gorbunov¹, Alexander Tselev¹, Holm Geisler¹, Joachim Noetzel² und Wolfgang Pompe¹ — ¹Institut für Werkstoffwissenschaft der TU Dresden, D-01062 Dresden — ²Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, FZ Rossendorf, Postfach 510119, D-01314 Dresden

Die effektive und flexible Synthese dünner tröpfchenfreier Schichten und Vielfachschichten durch die Kreuzstrahl-PLD (Cross-Beam Pulsed Laser Deposition, CBPLD) wird demonstriert. Die gasdynamische Filterung durch den Zusammenstoß zweier Plasmaströme führt nicht nur zur Aussonderung der Tröpfchen, sondern auch zur Aussonderung der hochenergetischen Plasmateilchen. Die gemessene mittlere Ionenenergie bei der CBPLD beträgt ca. 100 eV und ist 2-3-fach niedriger als bei der konventionellen PLD, was die Durchmischung benachbarter Schichten reduzieren sollte. Die Möglichkeit, ein gemischtes Plasma aus zwei verschiedenen -auch nichtmischbaren- Materialien zu deponieren, eröffnet einen neuen Weg zur Synthese metastabiler Legierungen. Gefördert durch die DFG im Rahmen des SFB 422.