Münster 1999 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 13: Laserverfahren III

DS 13.2: Fachvortrag

Tuesday, March 23, 1999, 10:30–10:45, H 55

Flugzeitmessungen zur Prozeßkontrolle bei der Laserdeposition — •S. Fähler^1,2 und H. U. Krebs¹ — ¹Institut für Metallphysik, Universität Göttingen, Hospitalstr. 3-7, 37073 Göttingen, und SFB 345 — ²jetzige Adresse: Institut für Festkörper- und Werkstofforschung, Helmholtzstraße 20, 01069 Dresden

Nachdem die Laserdeposition sich nicht nur bei den Hochtemperatursupraleitern, sondern auch bei metallischen Schichten als attraktive Dünnschichtmethode erwiesen hat, stellt sich für diese Methode an der Schwelle zur Anwendung auch die Frage der Prozeßkontrolle. Vorgestellt werden Flugzeitmessungen mittels eines Faradaycups bei der Deposition von Metallen. Diese Messungen und ihre Auswertung werden verglichen mit Flugzeitmessungen mittels Ionenmultiplier. Hierbei wird insbesondere die kinetischen Energie und der Anteil der Ionen diskutiert.

Als Beispiel zur Anwendung als Prozeßkontrolle wird dargestellt, welchen Einfluß die Linsenstellung und die Targetalterung auf die Deposition hat und wie sich die Depositionsbedingungen optimieren lassen.

Darüber hinaus lassen die Messungen Rückschlüsse auf die komplexen physikalischen Prozesse bei der Ablation zu.