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DS: Dünne Schichten
DS 13: Laserverfahren III
Dienstag, 23. März 1999, 10:15–11:00, H 55
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10:15 | DS 13.1 | Fachvortrag: Skalierung einer Q-Switch-CO2 Laserstrahlquelle für PLD Anwendung — •F. Grümbel, A. Husmann, G. Schlaghecken, E. W. Kreutz und R. Poprawe |
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10:30 | DS 13.2 | Fachvortrag: Flugzeitmessungen zur Prozeßkontrolle bei der Laserdeposition — •S. Fähler und H. U. Krebs |
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10:45 | DS 13.3 | Fachvortrag: Computer–Simulation des Schichtwachstums bei gepulster Laserdeposition mit Kontinuumsgleichungen — •S. G. Mayr, H. A. Atwater, M. E. Taylor, M. Moske und K. Samwer |